次世代の半導体材料を用いた電子デバイスの評価に関する研究を行っています。半導体デバイスは絶縁膜を利用することで、性能向上が期待できます。しかし、デバイスの動作安定性は絶縁膜/半導体界面の特性と密接に関係していますが、完全には明らかになっておらず、界面評価手法も確立されていません。そこで、私は絶縁膜/半導体界面を評価する新規手法の開発に取り組んでいます。また、学会にも積極的に参加しています。
半導体デバイスの特性を様々な条件で測定し、その結果から絶縁膜/半導体界面の評価を行っています。
熊本大学大学院自然科学教育部
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